磁尺是利用磁的原理制作而成的传感器。基尺是被均匀磁化的钢带。S和N均匀间隔排列在钢带上，通过读数头读取S，N的变化来记数。磁尺是利用与录音技术相似的方法，通过录磁头在磁性尺(或盘)上录制出间隔严格相等的磁波这过程称为录磁。已录制磁波的磁性尺称为磁栅尺。磁栅尺上相邻栅波的间隔距离称为磁栅的波长，又称为磁栅的节距(栅距)。

　　磁尺在中小型机床上安装方便,由于磁栅尺具有与铁芯相似的热膨胀系数,因此,受温度影响小,加上它又具有抗机械振动、铁屑和油污染,并可以屏蔽外界磁干扰,能度要求,便于维修等优点,可广泛应用在中小型镗铣床上,是目前中小型镗铣床上使用的的位置测量传感器。

　　光栅尺则是利用光的干涉和衍射原理制作而成的传感器。当两块栅距相同的光栅叠放在起，同时让线纹构成微小角度，这时在平行光照射下，与刻线垂直方向上能看到对称分布的明暗相间的条纹，称为莫尔条纹，因此莫尔条纹是光的衍射和干涉作用的总果。当光栅移动个小栅距时，莫尔条纹随之移动个条纹间距，这样，我们测量莫尔条纹的宽度比测量光栅线纹宽度容易的多。此外，由于每条莫尔条纹都是由许多光栅线纹的交点组成，当线纹中有条线纹有误差时（间距不等或倾斜），这条有误差的线纹和另光栅线纹的交点位置将产生变化。但是，条莫尔条纹是由许多光栅线纹交点组成，因此，个线纹交点位置的变化，对于条莫尔条纹来讲其影响小了，所以莫尔条纹可以起到放大和平均的作用。

　　光栅尺受温度影响较大，般使用环境在40摄士度以下，三坐标测量机般都要求在恒温恒湿环境下测量，测量度。

　　敞开式磁栅尺容易受磁场影响，封闭式磁栅尺则无此困扰，但成本较高。