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| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,能源,航天,汽车,电气 |
Laserscale读数头BS78
点
高速和高分辨率，同时保持稳定，超密测量。适用于密工作台、半导体/制造系统和超密加工机器。
高分辨率的尺度，信号音高约为。138nm，优于光波干涉仪系统
高稳定性，不受湿度、气压和空气干扰的影响
参考点度:±0.1μm
刻度度:±0.04μm(测量长度:40mm)
非接触式设计了返回错误。
殊的无磁性和真空兼容的型号
使用低膨胀玻璃:-0.7 x 10-6/℃(测量长度:10420毫米)
规格
| 型号 | BS78 | |
| 测量长度 | 10(only N/NS)/40/70/120/170/220/270/320/370/420 | |
| 总长 | 58mm (L=10mm:open type scale), L + 26mm (L= 40mm to 420mm) L: 测量长度 | |
| 可动长 | L + 2mm (L=10mm:open type scale), L +10mm (L= 40mm to 420mm) L: Measuring length | |
| 度20摄氏度 |
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| 光栅间距 | 约 0.55μm | |
| 信号波长 | 约. 0.138μm (约. 138nm) | |
| 原点度 | 0.1μm (Only R/RS type) | |
| 原点位置 | 在中间，并每隔50mm从向左和 右侧(BS78型号测量长度为320、370、420毫米: 距20mm，间距50mm) | |
| 原点检出方向 | 单方向 | |
| 返回错误 | 这几乎被了。它应该被认为是 小于所使用探测器的两个分辨率限制。 | |
| 光源 | 半导体激光器:波长790nm，输出6mW | |
| 辐射功率 | DHHS class 1 | |
| 原理 | 衍射光栅扫描系统 | |
| 作温度 | 1030˚C(无凝结) | |
| 储存温度 | -1050˚C(湿度60%或以下) | |
| 响应速度 | 400mm/s(与BD96连接时) | |
Laserscale读数头BS78
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