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Laserscale读数头BS78

型号:

更新时间:2023-12-09

简要描述:

Laserscale读数头BS78 高速和高分辨率,同时保持稳定,超密测量。适用于密工作台、半导体/制造系统和超密加工机器

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详细介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,能源,航天,汽车,电气

Laserscale读数头BS78

高速和高分辨率,同时保持稳定,超密测量。适用于密工作台、半导体/制造系统和超密加工机器。

高分辨率的尺度,信号音高约为。138nm,优于光波干涉仪系统

高稳定性,不受湿度、气压和空气干扰的影响

参考点度:±0.1μm

刻度度:±0.04μm(测量长度:40mm)

非接触式设计了返回错误。

殊的无磁性和真空兼容的型号

使用低膨胀玻璃:-0.7 x 10-6/℃(测量长度:10420毫米)

 

规格

型号BS78
测量长度10(only N/NS)/40/70/120/170/220/270/320/370/420
总长58mm (L=10mm:open type scale), L + 26mm (L= 40mm to 420mm)
L: 测量长度
可动长L + 2mm (L=10mm:open type scale), L +10mm (L= 40mm to 420mm)
L: Measuring length
度20摄氏度
  • NS type, RS type :
  • ±0.03μm (L=10mm : NS type)
  • ±0.04μm (L=40mm)
  • ±0.10μm (L=70/120mm)
  • ±0.18μm (L=170/220mm)
  • ±0.25μm (L=270mm)
  • ±0.34μm (L=320mm)
  • ±0.39μm (L=370mm)
  • ±0.44μm (L=420mm)
  • L: Measuring length
  • N type, R type :
  • ±0.06μm (L=10mm : N type)
  • ±0.08μm (L=40mm)
  • ±0.20μm (L=70/120mm)
  • ±0.35μm (L=170/220mm)
  • ±0.50μm (L=270/370mm)
  • ±0.65μm (L=420mm)
  • L: Measuring length
光栅间距 0.55μm
信号波长. 0.138μm (. 138nm)
原点度0.1μm (Only R/RS type)
原点位置

在中间,并每隔50mm从向左和

右侧(BS78型号测量长度为320、370、420毫米:

距20mm,间距50mm)

原点检出方向单方向
返回错误

这几乎被了。它应该被认为是

小于所使用探测器的两个分辨率限制。

光源半导体激光器:波长790nm,输出6mW
辐射功率DHHS class 1
原理衍射光栅扫描系统
作温度1030˚C(无凝结)
储存温度-1050˚C(湿度60%或以下)
响应速度400mm/s(与BD96连接时)

Laserscale读数头BS78

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